发布时间:2019-08-24 | 游览:5441
产品名称 | 气体纯度 | 气瓶规格 | 阀门 | 充装量(Kg) | 保质期 |
C2F6 | 99.999% | DOT47L | DISS716 | 40 | 2年 |
DOT440L | DISS716 | 460 | 2年 | ||
TT(20'GP) | DISS716 | 10000 | 2年 | ||
备注:可按客户要求定制包装规格 |
六氟乙烷又称全氟乙烷,是乙烷中六个氢原子全部被氟原子取代后的产物,是卤代烃(化学式:C2F6),亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物,是一种不易燃的气体,难溶于水,微溶于醇。
六氟乙烷可用于一种具多功能的蚀刻技术,常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外,它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)。
包装容器:规格齐全,按客户要求配置。
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